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本產品為桌面型小型蒸發鍍膜儀，可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發溫度可達1800℃，能夠滿足各種常見金屬及部分非金屬的蒸鍍。真空腔體采用高純石英制作，具有便于觀察鍍膜過程，易于清洗的優點；配合分子泵組可達到5x10-4Pa極限真空，能夠有效保證蒸鍍薄膜的純凈度和結合力。
小型蒸發鍍膜儀技術參數：
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產品名稱 |
桌面型石英腔體蒸發鍍膜儀 |
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產品型號 |
CY-EVP180G-1S-A |
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安裝條件 |
1、使用環境溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh； 2、設備供電：AC220V，50Hz，必須有良好接地； 3、額定功率：1200w； 4、設備用氣：設備腔室內需充注氬氣清洗，需客戶自備氬氣，純 度 ≥99.99%； 5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 50kg 以上； 6、擺放位置要求通風。 |
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技術參數 |
1、 蒸發源電壓：10V 2、 蒸發電流 0～100A 連續可調 3、 配 1 個鎢舟、1 個鎢絲籃； 4、 不銹鋼旋轉上置樣品臺,直徑為60mm； 5、 樣品與蒸發源的距離為 60～100mm 連續可調； 6、 真空腔體為石英腔體其直徑為180mm，高度為200mm； 7、 真空腔體抽氣接口為 KF25； 8、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭，默認配不銹鋼微調閥以調節進氣量； 9、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏； 10、 可調節蒸發電流，可設置蒸發**電流值、**真空值； 11、 **保護：過流、真空過低自動切斷蒸發電流； 12、 極限真空：5E-4Pa(搭配分子泵)； 13、 真空測量為電阻規真空計，其量程為：1～105Pa |
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注意事項 |
1、對于蒸鍍對氧較敏感的材料，建議使用分子泵組。 2、為了達到較高的無氧環境，至少要用高純惰性氣體對真空腔體清洗 3 次。 |
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可選配件 |
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膜厚監測儀 |
1、膜厚分辨率：0.0136?（鋁） 2、膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置， 材料應力，溫度和密度 3、測量速度：100ms-1s/次，可設置測量范圍：500000?（鋁） 4、標準傳感器晶體：6MHz 5、適用晶片頻率：6MHz 適用晶片尺寸：Φ14mm 安裝法蘭：CF35 |
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其他配件 |
1、鎢舟、鎢絲籃； 2、有機蒸發源（含石英舟和鎢絲發熱源） 3、CY-CZK103系列高性能分子泵組（含復合真空計，測量范圍10-5Pa~105Pa）； CY-GZK60系列小型分子泵組（含復合真空計，測量范圍10-5Pa~102Pa） VRD-4雙極旋片真空泵； 4、KF25真空波紋管；長度可選0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架 5、膜厚儀晶振片； |
