產(chǎn)品名稱

桌面型水冷樣品臺蒸發(fā)鍍膜儀

產(chǎn)品型號

CY-EVP195S-2S-WT（T高罐體tall；w水冷樣品臺 water）

安裝條件

1、使用環(huán)境溫度 25℃±15℃，濕度 55%Rh±10%Rh；

2、設備供電：AC220V，50Hz，必須有良好接地；

3、額定功率：2500w；

4、設備用氣：設備腔室內需充注氬氣清洗，需客戶自備氬氣，純

度 ≥99.99%；

5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 70kg 以上；

6、擺放位置要求通風。

技術參數(shù)

1、 蒸發(fā)源數(shù)量：2個，每個蒸發(fā)源均配擋板；

2、 蒸發(fā)源電壓：10V

3、 蒸發(fā)電流 0～100A 連續(xù)可調

4、 配 2 個鎢舟、2個鎢絲籃；

5、 不銹鋼水冷旋轉上置樣品臺,直徑為100mm，旋轉速度1~20rpm連續(xù)可調；

6、 樣品與蒸發(fā)源的距離為 300mm ；

7、 樣品臺水冷接口為φ6mm快插接頭，需配循環(huán)水冷機使用；

8、 真空腔體為不銹鋼腔體其外徑為195mm，內徑為185mm，高度為350mm；

9、 配有帶擋板的石英觀察窗，尺寸為φ60mm

10、 真空腔體抽氣接口為 KF40；

11、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭，默認配不銹鋼微調閥以調節(jié)進氣量；

12、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏；

13、 可調節(jié)蒸發(fā)電流，可設置蒸發(fā)**電流值、**真空值；

14、 **保護：過流、真空過低自動切斷蒸發(fā)電流；

15、 極限真空：5x10-5Pa(搭配分子泵)；

16、 真空測量為電阻規(guī)真空計，其量程為：1～10⁵Pa

注意事項

1、為充分發(fā)揮腔體的真空性能，建議搭配分子泵組使用。

2、建議選購CW3000水冷機或更好的循環(huán)水冷機

可選配件

厚監(jiān)測儀

1、膜厚分辨率：0.0136?（鋁）

2、膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置， 材料應力，溫度和密度

3、測量速度：100ms-1s/次，可設置測量范圍：500000?（鋁）

4、標準傳感器晶體：6MHz

5、適用晶片頻率：6MHz 適用晶片尺寸：Φ14mm 安裝法蘭：CF35

其他配件

1、 鎢舟、鎢絲籃；

2、 有機蒸發(fā)源（含石英舟和鎢絲發(fā)熱源）；

3、 蒸發(fā)源數(shù)量可選1~2組；

4、 CY-CZK103系列高性能分子泵組（含復合真空計，測量范圍

10^-5Pa~10⁵Pa）；

CY-GZK60系列小型分子泵組（含復合真空計，測量范圍10^-5Pa~10²Pa）

VRD-4雙極旋片真空泵；

5、 CW3000循環(huán)水冷機（風冷，流量10L/min）

6、 KF40真空波紋管；長度可選0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架

7、 膜厚儀晶振片；